德國Physik Instrumente- 緊湊型XY壓電位移臺

PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

PI產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體制造

醫(yī)學(xué)工程

生物技術(shù)

工廠工程

表面計量

天文學(xué)

PI產(chǎn)品系列：

納米定位壓電彎曲平臺

微型平臺

線性平臺

線性執(zhí)行器

旋轉(zhuǎn)平臺

XY位移平臺

六足位移臺

設(shè)計系統(tǒng)

快速多通道光子學(xué)對準(zhǔn)

PI產(chǎn)品：

PI提供廣泛的定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動以及不同軸的組合。

聚光燈下的產(chǎn)品

PI級的線性和旋轉(zhuǎn)定位平臺，負(fù)載能力為10至50 kg，可提供1微米或更小的重復(fù)精度。

應(yīng)用與市場

PI為工業(yè)和研究提供解決方案，例如醫(yī)療工程，工業(yè)自動化和半導(dǎo)體制造。

1.PI XY位移平臺
     高精度的2軸納米定位系統(tǒng)集成了PICMA®壓電執(zhí)行器，以實現(xiàn)的可靠性。通過使用高質(zhì)量的納米計量傳感器，可以實現(xiàn)具有較好穩(wěn)定性的可重復(fù)，無漂移的定位

用于小負(fù)載的2軸壓電掃描儀經(jīng)常用于掃描和跟蹤過程。它們的快速步進(jìn)運動提高了光學(xué)系統(tǒng)的分辨率。這些包括相機(jī)技術(shù)中的成像過程和圖像識別，例如用于生物識別或文檔存檔。

型號介紹：

緊湊型XY壓電位移臺

P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器：用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統(tǒng)

P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺：行程范圍可變的高精度XY納米定位器

XY壓電撓性位移臺

P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng)：緊湊，帶光圈

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺：大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)

P-733.2 XY壓電納米定位器：高精度XY光圈掃描儀

P-734 XY壓電掃描儀：具有小跳動和清晰光圈的高動力系統(tǒng)

P-763緊湊型XY納米定位系統(tǒng)：光圈清晰低剖面，經(jīng)濟(jì)高效的壓電掃描儀，用于生物識別：CCD芯片可在兩個軸上動態(tài)移動，以提高像素分辨率

P-713 XY壓電掃描儀：具有成本效益的低矮OEM系統(tǒng)

P-545.xR8SPInano®XY（Z）壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)

P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）壓電系統(tǒng)：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY（Z）平臺用于高動態(tài)顯微鏡

2.PI XYZ壓電彎曲掃描儀

PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個固定參考為參考?？梢詫崟r地（取決于帶寬）主動補(bǔ)償與另一軸發(fā)生的不必要的運動串?dāng)_（主動引導(dǎo)）。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。

型號介紹：

P-733.3 XYZ壓電納米定位器：高精度XYZ光圈掃描儀

P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯(lián)運動壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)：緊湊的多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

P-561•P-562•P-563 PIMars

納米定位臺：高精度納米定位器，多可容納3個軸

P-517•P-527多軸壓電掃描儀：高動態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能

用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀

PI (Physik Instrumente)P-621.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-622.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-625.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-628.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-629.2UD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-713.20L  Low- Profile OEM XY Nanoscanner, 20 μm × 20 μm, Open- Loop, LEMO Connector(s)

PI (Physik Instrumente)P-713.2SL  Low- Profile OEM XY Nanoscanner, 15 μm × 15 μm, SGS Sensor, LEMO Connector(s)

PI (Physik Instrumente)E-610 Piezo Amplifier / Controller

PI (Physik Instrumente)E-621 Piezo Servo- Controller & Driver

PI (Physik Instrumente)E-625 Piezo Servo- Controller & Driver

PI (Physik Instrumente)E-500 ? E-501 Modular Piezo Controller

PI (Physik Instrumente)E-505 Piezo Amplifier Module

PI (Physik Instrumente)E-503 Piezo Amplifier Module

PI (Physik Instrumente)E-509 Signal Conditioner / Piezo Servo Module Related Products

PI (Physik Instrumente)P-612.2 XY Piezo Nanopositioning System

PI (Physik Instrumente)P-733.2DD 高動態(tài)精密XY向納米定位系統(tǒng)，30 微米 × 30 微米，直接驅(qū)動，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente)P-733.2CD 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente)P-733.2CL 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

PI (Physik Instrumente)P-733.AP1 接裝板用于將P-733 壓電工作臺安裝在M-545 XY位移平臺上 線性定位器，真空兼容達(dá)10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-733.2VL 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器，真空兼容至10-6百帕

PI (Physik Instrumente)P-733.2VD 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-6百帕

PI (Physik Instrumente)P-733.2UD 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-734.2CD 高精度XY納米定位系統(tǒng)，小跳動，100μm×100μm，電容式傳感器，并行計量，Sub-D

PI (Physik Instrumente)P-734.2CL 高精度XY納米定位系統(tǒng)，小跳動，100μm×100μm，電容式傳感器，并行計量，LEMO

PI (Physik Instrumente)E-725數(shù)字壓電控制器

PI (Physik Instrumente)E-712數(shù)字壓電控制器

PI (Physik Instrumente)E-761數(shù)字壓電控制器

德國Physik Instrumente- 緊湊型XY壓電位移臺